輝縣市金鑲玉石墨模具制品有限公司小編給大家說說如何對石墨做煅燒加工，下面就是細致的步驟，一同來看看吧。

一、工作分配

提供(gong)高純度的(de)石墨卡瓣和石墨基座(zuo)，為消費*太陽能級多(duo)晶硅奠定根(gen)底。

二、職位的職責

1、煅燒石墨*件(jian)的制備

2、石墨*件的清洗

3、石墨*件的枯燥

4、石墨*件的煅燒

三、流程原理

石墨加(jia)工中揮發性物質經過高溫煅燒除去(qu)，以(yi)避免雜質污染多晶硅在復原和(he)拉伸硅芯。

四、工藝指標

1、真空泵(beng)低真空至30格(ge)柵(1x 10-3齒輪)

2、擴散泵高真空到90格柵(1x 10-3齒輪)

3、焙燒爐高壓啟(qi)動后20分鐘升壓，每次0.5V。

4、煅燒爐溫(wen)度至1550℃

五(wu)、停車及(ji)緊急停車程序及(ji)操(cao)作辦法

1、沸騰冷卻水閥

2、翻開真空泵

3、閉式(shi)擴散泵制動(dong)刀、預熱擴散泵

4、當(dang)低真空到達30格柵(zha)(1x 10-3齒(chi)輪)時，翻開真空閥，關(guan)閉低真空閥。

5、翻開高真空閥，高到90格柵(1x 10-3齒輪)

6、翻開高(gao)壓(ya)開關(guan)，20分鐘后升高(gao)電(dian)壓(ya)。當真空度等(deng)于80-90格(ge)時(shi)，壓(ya)力增加到8(x5)，爐(lu)溫(wen)為1550℃，恒(heng)溫(wen)2-3小時(shi)。

7、中(zhong)止(zhi)：遲(chi)緩冷卻，通常10分鐘，中(zhong)止(zhi)高壓電源，中(zhong)止(zhi)擴散泵，關閉真空閥，中(zhong)止(zhi)爐子，關閉冷卻水(shui)閥。

8、拆(chai)(chai)(chai)爐：拆(chai)(chai)(chai)爐后，戴好口(kou)罩和高純手套(tao)，將石墨件拆(chai)(chai)(chai)下，用潔凈(jing)的(de)塑料袋密(mi)封。

9、緊急(ji)停(ting)車：先(xian)停(ting)真空泵(beng)，然(ran)后停(ting)電，*后停(ting)水。

六、石墨加工常見事(shi)故的剖(pou)析與(yu)處置

(1)停水：立刻關閉(bi)真空泵閥門，然后關閉(bi)電(dian)源。

(2)停電(dian)(dian)：關(guan)閉真空泵(beng)閥門，等(deng)候石墨爐和擴(kuo)散泵(beng)溫(wen)度(du)降(jiang)至(zhi)室溫(wen)，然后關(guan)閉電(dian)(dian)源，*后關(guan)閉循環水閥門。

(3)不能抽真(zhen)空：停爐(lu)檢(jian)查密封(feng)(feng)件的密封(feng)(feng)狀況。

七 連鎖、報警

水壓、溫度、真空、電(dian)壓和電(dian)流

八、設備清單

循環水(shui)系統、真空系統、擴(kuo)散泵、石墨煅燒爐

九、石墨加工工藝(yi)流程

石(shi)墨清(qing)洗→裝爐→抽真空→開爐→升溫(wen)→恒溫(wen)→降溫(wen)

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