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行業新聞

石墨坩堝在熱場系統中的功能

發布時間:2019-11-13 17:59:44 瀏覽:780次

    

    直拉法(fa)生產單晶(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)是目前制備單晶(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)的(de)*主(zhu)要(yao)方法(fa),熱場系統是硅(gui)材料(liao)成晶(jing)(jing)(jing)(jing)的(de)*重要(yao)的(de)條件(jian)之(zhi)一(yi),熱場的(de)溫(wen)度梯度分(fen)布直接影響著是否能順利地拉出單晶(jing)(jing)(jing)(jing)和(he)控(kong)制單晶(jing)(jing)(jing)(jing)的(de)質量好壞(huai)。因而熱場的(de)設計(ji)和(he)改進對一(yi)個有競爭力的(de)拉晶(jing)(jing)(jing)(jing)廠家來(lai)說(shuo)*重要(yao)。


    在拉制單晶的過程中,石墨坩堝作為(wei)關(guan)鍵核心部件(jian)的主要作用有如下(xia)幾點:


    (1)高(gao)溫承(cheng)(cheng)載作用:裝滿(man)多晶(jing)硅原料(liao)(liao)的石(shi)(shi)英坩堝(guo)要(yao)(yao)(yao)置于石(shi)(shi)墨坩堝(guo)里面,石(shi)(shi)墨坩堝(guo)要(yao)(yao)(yao)承(cheng)(cheng)載石(shi)(shi)英坩堝(guo)和多晶(jing)硅等原料(liao)(liao)的重量(liang),保證高(gao)溫石(shi)(shi)英坩堝(guo)變軟(ruan)后,原料(liao)(liao)不(bu)會泄漏出來(lai),并且在(zai)拉晶(jing)過程中要(yao)(yao)(yao)承(cheng)(cheng)載原料(liao)(liao)做旋轉(zhuan)運動(dong),因(yin)此,對其力學性能要(yao)(yao)(yao)求比較高(gao);

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    (2)傳(chuan)熱作(zuo)用:坩堝(guo)(guo)通過(guo)自身優良(liang)的導(dao)熱性能,傳(chuan)導(dao)多晶(jing)硅(gui)原料融化所需的熱量,融化溫度在1600℃左右,因此,坩堝(guo)(guo)必須要有良(liang)好的高溫導(dao)熱性能;


    (3)安全作(zuo)用(yong)(yong):在(zai)緊急(ji)情況停爐時(shi)(shi)(shi),由(you)于多晶硅冷卻(que)時(shi)(shi)(shi)體(ti)積膨(peng)脹(zhang)(大約為10%),坩(gan)堝短時(shi)(shi)(shi)間內會承受(shou)很大的(de)應力,因石墨材(cai)料自身(shen)的(de)強(qiang)度(du)較(jiao)低,石墨坩(gan)堝在(zai)這種(zhong)情況下一般都(dou)會炸裂而報廢,甚至損(sun)壞相(xiang)鄰部(bu)件乃至整個(ge)熱場,因此石墨坩(gan)堝強(qiang)度(du)較(jiao)低是單晶生產(chan)穩定的(de)隱(yin)患,急(ji)需(xu)更(geng)新(xin)換代,使用(yong)(yong)符合拉晶需(xu)求的(de)抗(kang)折強(qiang)度(du)大的(de)產(chan)品。