直拉單晶爐的熱系統,也就是所謂的熱場,是指為了熔化硅料,并使單晶生長保持在一定溫度下進行的整個系統。
熱場一般包括(石墨材料)壓環、保溫蓋、上中下保溫罩、石墨坩堝(三瓣(ban)堝(guo)(guo))、坩(gan)(gan)堝(guo)(guo)托(tuo)桿(gan)、坩(gan)(gan)堝(guo)(guo)托(tuo)盤、電(dian)極、加熱器、導流筒、石(shi)墨螺(luo)栓,且為了(le)防止(zhi)漏硅,爐底、金屬(shu)電(dian)極、托(tuo)桿(gan)、都設置了(le)保護板、保護套。
21世紀,越(yue)來越(yue)多的(de)用戶開始注意到(dao)石(shi)墨(mo)材料,石(shi)墨(mo)具有耐高溫(wen)、導(dao)電、導(dao)熱性(xing)良(liang)好(hao)、潤滑性(xing)等主(zhu)要(yao)特點,抗熱震(zhen)性(xing)等在(zai)新能源引領未來的(de)時代,石(shi)墨(mo)熱場(chang)以及部(bu)件在(zai)單晶(jing)硅的(de)制造(zao)中起著關鍵(jian)的(de)載(zai)體作(zuo)用。
在(zai)真空爐中熱場是決定單(dan)晶硅好壞(huai)的決定因(yin)素,通(tong)過對石墨熱場的了解,決定熱場石墨組件的好壞(huai)的因(yin)素有很多(duo),其中石墨原材料(liao)的選擇和加工(gong)工(gong)藝(yi)上(shang)*關鍵
由于(yu)單晶(jing)爐石(shi)(shi)墨熱(re)(re)場大多(duo)是(shi)(shi)采用等靜壓石(shi)(shi)墨來(lai)加(jia)工(gong),對于(yu)石(shi)(shi)墨制品加(jia)工(gong)企業來(lai)說(shuo)石(shi)(shi)墨材料(liao)要比(bi)加(jia)工(gong)工(gong)藝所占的(de)(de)比(bi)重大一些(xie),那么提(ti)高石(shi)(shi)墨熱(re)(re)場的(de)(de)利用率是(shi)(shi)石(shi)(shi)墨制品加(jia)工(gong)企業都(dou)要考慮(lv)的(de)(de)問題,因此(ci)在報(bao)價(jia)給看客戶(hu)報(bao)價(jia)的(de)(de)時候除了(le)考慮(lv)石(shi)(shi)墨原材料(liao)理化(hua)指標,更多(duo)的(de)(de)還(huan)要考慮(lv)石(shi)(shi)墨熱(re)(re)場的(de)(de)壽命。
清爐(lu)是(shi)個技術活(huo),清爐(lu)不到(dao)位(wei),將影響到(dao)單晶的正常(chang)(chang)生(sheng)長,輕者,無法正常(chang)(chang)生(sheng)長單晶,重者,將會導(dao)致停爐(lu),大(da)家在清理單晶爐(lu)中應該(gai)注意(yi)到(dao)幾(ji)點(dian):
1、盡量將噴濺到石墨(mo)部件上的(de)硅滴(di)去除,劣(lie)化嚴(yan)重的(de)石墨(mo)件要向主任報告(gao)及時(shi)更換。
2、用刷子和吸塵器清理(li)各種石墨件(jian),一定要注意清理(li)管道的(de)重要性。
3、石墨件要輕拿輕放,避(bi)免(mian)石墨件受損。
4、清理干(gan)凈的石墨件,應(ying)放在干(gan)凈的不銹鋼推車上,避免二(er)次污染。