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石墨熱場之石墨器件損壞的原因

發布時間:2019-11-26 11:32:12 瀏覽:808次

    *先我們來了解石墨的有關(guan)特性


    1.耐高(gao)(gao)溫性,石(shi)(shi)墨的熔點極高(gao)(gao),在(zai)真空為(wei)3850度(du),在(zai)低壓下升(sheng)華,升(sheng)華溫度(du)為(wei)2200度(du),與一般(ban)材料不(bu)同(tong),當溫度(du)升(sheng)高(gao)(gao)時石(shi)(shi)墨不(bu)但不(bu)軟化,強度(du)反而增高(gao)(gao),在(zai)2500度(du)時,石(shi)(shi)墨的抗拉強度(du)反而增加一倍。


    2.特殊的抗熱震性,石墨的熱膨脹性具有各向異性,因而宏觀膨脹系數不大,在溫度驟變的情況下,石墨的體積變化也不大,再加上其良好的導熱性能,因而石墨的抗熱震性良好。諸上兩點所述,石墨件應該能夠長時間的在高溫下穩定工作。

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    目前單晶硅(gui)廠家使用(yong)的(de)(de)石(shi)墨熱(re)場都是(shi)比(bi)較成功(gong)的(de)(de),一是(shi)因為石(shi)墨氈保溫,總(zong)厚度(du)達到100MM以上,保證(zheng)了(le)徑(jing)向(xiang)溫度(du)梯(ti)度(du)盡可能(neng)小的(de)(de)條件(jian),二是(shi)因為熱(re)場大,使用(yong)的(de)(de)坩堝一般都是(shi)在250MM以上,這樣(yang)保溫罩、保溫蓋的(de)(de)口徑(jing)也大了(le),有(you)(you)充分(fen)的(de)(de)縱(zong)向(xiang)散熱(re)功(gong)能(neng),保證(zheng)了(le)晶體的(de)(de)縱(zong)向(xiang)溫度(du)梯(ti)度(du)足夠大的(de)(de)條件(jian),同時加(jia)強托(tuo)碗底部(bu)的(de)(de)保溫效果(guo),保證(zheng)了(le)熔(rong)體中(zhong)的(de)(de)縱(zong)向(xiang)溫度(du)梯(ti)度(du)比(bi)較大的(de)(de)條件(jian),這種熱(re)場成晶率(lv)高,有(you)(you)利(li)單晶從頭到尾進行無位錯生(sheng)長,不必進行過多的(de)(de)調(diao)整,差(cha)異在成品率(lv)的(de)(de)高低和節能(neng)的(de)(de)效果(guo)不一樣(yang),然(ran)而這些指標往往又和設(she)備的(de)(de)優良(liang)成度(du)以及管理水平等綜(zong)合因素(su)相關聯,從熱(re)場的(de)(de)結構(gou)上講,有(you)(you)的(de)(de)加(jia)強了(le)徑(jing)向(xiang)保溫,采有(you)(you)碳(tan)碳(tan)復合材料來降低能(neng)耗等。


    眾所周知(zhi),熱(re)場的(de)組成部分如加熱(re)器、三(san)瓣堝、石(shi)(shi)墨托、熱(re)屏等均由石(shi)(shi)墨加工而(er)成。在生(sheng)產過程中,經常能碰(peng)到加熱(re)器件(jian)(jian)損(sun)壞的(de)現象(xiang),那么(me)石(shi)(shi)墨器件(jian)(jian)損(sun)壞的(de)原(yuan)因(yin)是什(shen)么(me),應該采取(qu)什(shen)么(me)樣的(de)措施來延(yan)長石(shi)(shi)墨器件(jian)(jian)的(de)壽命呢?石(shi)(shi)墨器件(jian)(jian)的(de)損(sun)壞,主要有人為和(he)劣化兩個方面的(de)原(yuan)因(yin)。人為方面只要加強管理,強化員工防(fang)范(fan)意識,就(jiu)可(ke)以將損(sun)失降到*低點。