熱場的組成部分如加熱器、三瓣堝、石墨托、熱屏等均由石墨加工而成。在生產過程中，經常能碰到加熱器件損壞的現象，那么石墨器件損壞的原因是什么，應該采取什么樣的措施來延長石墨器件的壽命呢？石墨器件的損壞，主要有人為和劣化兩個方面的原因。人為方面只要加強管理，強化員工防范意識，就可以將損失降到*低點。這里主要討論劣化。*先我們來了解石墨的有關特性，

    1.耐高溫(wen)(wen)性(xing)，石(shi)墨(mo)的熔點極高，在(zai)真空為(wei)(wei)3850度，在(zai)低壓下升(sheng)華(hua)，升(sheng)華(hua)溫(wen)(wen)度為(wei)(wei)2200度，與一般材料不(bu)同，當溫(wen)(wen)度升(sheng)高時石(shi)墨(mo)不(bu)但不(bu)軟化，強度反而(er)增高，在(zai)2500度時，石(shi)墨(mo)的抗拉強度反而(er)增加一倍。

    2.特殊的(de)抗(kang)熱(re)震性，石(shi)墨(mo)的(de)熱(re)膨脹(zhang)性具有(you)各(ge)向異性，因而宏觀膨脹(zhang)系數不(bu)大(da)，在溫(wen)度驟變(bian)的(de)情(qing)況下(xia)，石(shi)墨(mo)的(de)體積變(bian)化也不(bu)大(da)，再(zai)加(jia)上其良好(hao)的(de)導熱(re)性能(neng)，因而石(shi)墨(mo)的(de)抗(kang)熱(re)震性良好(hao)。諸上兩(liang)點(dian)所(suo)述，石(shi)墨(mo)件(jian)應(ying)該能(neng)夠長時間的(de)在高溫(wen)下(xia)穩定工(gong)作。

    隨著社會經濟的(de)發展，很多單晶硅生產(chan)(chan)廠(chang)家(jia)在(zai)石墨熱(re)場的(de)應用都是比較熟(shu)練的(de)，原因(yin)是有兩點(dian)：*、石墨氈保溫效(xiao)果好，厚(hou)度達到100毫(hao)米(mi)，有效(xiao)的(de)保證了徑(jing)(jing)向梯度溫度可(ke)能小的(de)條件，第(di)二(er)、熱(re)長達的(de)原因(yin)可(ke)以(yi)是石墨坩堝(guo)的(de)厚(hou)度達到250毫(hao)米(mi)，扎(zha)樣(yang)可(ke)以(yi)是上中下(xia)保溫桶的(de)口徑(jing)(jing)也(ye)會足(zu)夠大，有充分的(de)縱向的(de)散熱(re)功能。眾所周知石墨坩堝(guo)使用方(fang)法上的(de)存在(zai)的(de)問題就會導(dao)致石墨坩堝(guo)使用時間減少，從而(er)也(ye)給生產(chan)(chan)商(shang)自己增加了成本。

    在(zai)通常情況下，瓣堝(guo)(guo)與其他石墨器件如保(bao)溫罩、加熱器相比，都(dou)是同樣的(de)(de)材料、同一個廠家、同樣的(de)(de)工作環境，為什(shen)么(me)使用壽(shou)命遠遠低于保(bao)溫罩和加熱器呢？三瓣堝(guo)(guo)的(de)(de)斷裂主要原因來自于石英坩堝(guo)(guo)。

    1.由于熔硅的(de)密度要(yao)大于固體硅，這(zhe)樣在(zai)冷卻過(guo)程中(zhong)，鍋底料(liao)(liao)會撐(cheng)破石英坩(gan)堝(guo)，而石英坩(gan)堝(guo)是(shi)(shi)貼合(he)于三瓣(ban)堝(guo)的(de)，當石英坩(gan)堝(guo)破裂(lie)而產生的(de)應力(li)大于三瓣(ban)堝(guo)承受的(de)應力(li)時，三瓣(ban)堝(guo)就會斷裂(lie)，這(zhe)就是(shi)(shi)為什堝(guo)底料(liao)(liao)剩余過(guo)多會撐(cheng)破三瓣(ban)堝(guo)的(de)原(yuan)因(yin)。

    2.加熱時間過長、石英坩堝（石墨坩堝）質量不過關、原(yuan)料酸堿度未(wei)達(da)到要(yao)求，會(hui)導(dao)致(zhi)漏硅和滲硅，熔硅滲入三(san)瓣堝之間的縫隙之間冷卻后一是撐壞(huai)三(san)瓣堝，二是使(shi)三(san)瓣堝相互粘接，在清(qing)爐時，使(shi)其分離有(you)可能造成斷裂。

    3.在加熱(re)(re)過(guo)程中唯有三瓣堝(guo)的熱(re)(re)源來自兩個方面，一是(shi)(shi)加熱(re)(re)器的輻(fu)射，二是(shi)(shi)來自于石英坩(gan)堝(guo)的傳導(dao)，這(zhe)就導(dao)致三瓣堝(guo)受(shou)熱(re)(re)不勻，加熱(re)(re)時沿某些(xie)方向(xiang)膨脹，沿另一些(xie)方向(xiang)收縮(suo)，從而導(dao)致三瓣堝(guo)斷(duan)裂。