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常見問題

石墨熱場生產制造中的存在的不足就會造成石墨坩堝應用時間降低

發布時間:2019-12-16 14:15:54 瀏覽:782次


    大家都知道石墨坩堝使(shi)用說明上的存在的不足就會造成石墨坩(gan)堝(guo)應(ying)用時間降(jiang)低,進而也給制造商自身提升了(le)成本(ben)費,今日人們(men)就來實際的聊一聊高純石墨熱場生產(chan)制造中(zhong)的疑難問題(ti),究竟人們(men)應(ying)當如何解決。


    伴隨著社會(hui)經濟(ji)發(fa)展的(de)(de)發(fa)展趨(qu)勢,許(xu)多單(dan)晶硅生產商在高純(chun)石墨(mo)(mo)熱(re)場的(de)(de)運(yun)用(yong)(yong)全是較為(wei)嫻熟(shu)的(de)(de),緣(yuan)故是有(you)二點(dian):*、高純(chun)石墨(mo)(mo)氈(zhan)隔熱(re)保溫好(hao)用(yong)(yong),薄厚超(chao)(chao)過100mm,合理的(de)(de)確保了軸向系(xi)數溫度將(jiang)會(hui)小的(de)(de)標準(zhun),第二、熱(re)將(jiang)近的(de)(de)緣(yuan)故能夠是石墨(mo)(mo)坩堝的(de)(de)薄厚超(chao)(chao)過250mm,扎(zha)樣(yang)能夠是從(cong)上到下保溫桶的(de)(de)規格也會(hui)充(chong)足(zu)大,有(you)充(chong)足(zu)的(de)(de)豎向的(de)(de)熱(re)管散熱(re)作(zuo)用(yong)(yong)。


    熱場的(de)(de)構成如電加熱器(qi)(qi)、三瓣堝、高純石(shi)墨托、熱屏等均(jun)由(you)石(shi)墨加工而成。在加工過程中,常(chang)常(chang)能遇到加溫元器(qi)(qi)件毀壞的(de)(de)狀況,那麼高純石(shi)墨元器(qi)(qi)件毀壞的(de)(de)緣故是啥,應當采(cai)用哪些的(de)(de)對策來增加高純石(shi)墨元器(qi)(qi)件的(de)(de)使用壽命(ming)呢?


   ; 高純(chun)石(shi)墨元器件的(de)(de)毀壞,關(guan)鍵許多人(ren)為(wei)和(he)劣變2個層(ceng)面(mian)的(de)(de)緣故。人(ren)為(wei)因素層(ceng)面(mian)要是(shi)提(ti)升管理方法,加(jia)強職工安(an)全意識(shi),就(jiu)能(neng)夠將損害降至底(di)點(dian)。這兒關(guan)鍵探討(tao)劣變。*先人(ren)們來掌(zhang)握高純(chun)石(shi)墨的(de)(de)相關(guan)特點(dian)

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    1.耐(nai)熱性,高(gao)(gao)純石(shi)墨的溶點極高(gao)(gao),在(zai)真空泵為3850度,在(zai)底壓下升(sheng)化,升(sheng)化溫(wen)度為2200度,與一(yi)般原材料不(bu)(bu)一(yi)樣,當溫(wen)度上升(sheng)時(shi)高(gao)(gao)純石(shi)墨不(bu)(bu)僅不(bu)(bu)變軟,抗壓強度反倒提(ti)高(gao)(gao),在(zai)2500度時(shi),高(gao)(gao)純石(shi)墨的抗壓強度反倒增(zeng)加一(yi)倍。


    2.獨(du)特的耐(nai)熱(re)(re)震(zhen)性(xing)(xing),高(gao)純(chun)石(shi)墨(mo)的熱(re)(re)變(bian)(bian)形性(xing)(xing)具備各種各樣,因此宏觀經濟熱(re)(re)膨脹系數并不大,在(zai)溫度劇(ju)變(bian)(bian)的狀況下(xia),高(gao)純(chun)石(shi)墨(mo)的容積轉變(bian)(bian)也并不大,加上其優良的傳熱(re)(re)性(xing)(xing)能,因此高(gao)純(chun)石(shi)墨(mo)的耐(nai)熱(re)(re)震(zhen)性(xing)(xing)優良。


    諸上二點上述,高純石墨件應(ying)當可以長(chang)期的在高溫下平穩工作中。


    在一般(ban)來說,瓣堝與(yu)別的(de)高純石墨元器(qi)件(jian)如隔熱(re)保(bao)溫罩(zhao)(zhao)、電加(jia)熱(re)器(qi)對比,全是一樣的(de)原材(cai)料、同一個(ge)生產廠家、一樣的(de)辦公環(huan)境(jing),為何使用期遠遠地小于隔熱(re)保(bao)溫罩(zhao)(zhao)和電加(jia)熱(re)器(qi)呢?三瓣堝的(de)破(po)裂關鍵緣故來源于于石英坩堝。


    1.因為(wei)熔(rong)硅(gui)的相對密度要超過(guo)固(gu)態硅(gui),那樣(yang)在制冷(leng)全(quan)過(guo)程中,底鍋(guo)料會(hui)撐裂(lie)石(shi)英(ying)(ying)坩堝,而(er)石(shi)英(ying)(ying)坩堝是(shi)迎合于三瓣堝的,當石(shi)英(ying)(ying)坩堝裂(lie)開而(er)造成的地應(ying)力超過(guo)三瓣堝承擔的地應(ying)力時,三瓣堝就(jiu)會(hui)破裂(lie),這(zhe)就(jiu)是(shi)說為(wei)何堝火鍋(guo)底料剩(sheng)下過(guo)多就(jiu)會(hui)撐裂(lie)三瓣堝的緣(yuan)故。


    2.加(jia)溫時間(jian)太長(chang)、方解石(shi)坩堝品質(zhi)不(bu)合(he)格(ge)、原材料ph酸(suan)堿度未(wei)超(chao)過(guo)規(gui)定,會造成漏硅(gui)和(he)滲硅(gui),熔硅(gui)滲透(tou)到三瓣堝中間(jian)的間(jian)隙中間(jian)制冷后(hou)一(yi)是撐壞三瓣堝,二是使(shi)(shi)三瓣堝互相粘(zhan)合(he),在(zai)清爐時,使(shi)(shi)其分離出(chu)來(lai)有(you)將(jiang)會導致(zhi)破裂。


    3.在(zai)加(jia)溫(wen)全過程中(zhong)惟(wei)有(you)三瓣(ban)堝(guo)的熱(re)原來源(yuan)于(yu)2個層面(mian),一是電加(jia)熱(re)器的輻射源(yuan),二是來源(yuan)于(yu)于(yu)石英坩堝(guo)的傳(chuan)輸(shu),這就造成三瓣(ban)堝(guo)遇熱(re)不均,加(jia)溫(wen)時(shi)沿(yan)一些方位(wei)澎(peng)漲,沿(yan)另一些方位(wei)收攏,可(ke)能會導致三瓣(ban)堝(guo)破(po)裂(lie)。